MEMS器件溫度循環試驗
作者：
salmon范
編輯：
瑞凱儀器
來源：
klmsg.cn
發布日期： 2020.08.31
1、目的
本試驗的目的是測定MEMS器件承受高溫和低溫的能力，以及高溫與低溫交替變化對器件的影響。
2、設備
所用高低溫試驗箱在加載負荷時，應能為工作區提供和控制規定的溫度。熱容量和空(的流量必須能使工作區和負載滿足規定的試驗條件和計時要求。在試驗期間，用溫度指示器或自動記錄儀顯示監測傳感器的讀數來連續監視壞情況的負載溫度。對樣品的熱傳導應減至小。
3、程序
樣品的安放位置不應妨礙樣品四周空氣的流動。當需要特殊地安置樣品時，應作具體規定。樣品應在規定條件下連續完成規定的循環次數。采用試驗條件C至少循環10次。一次循環包括第1步至第2步或適用的試驗條件，必須無中斷地完成，才能算作一次循環。在完成規定的試驗循環總次數期間，為了進行器件批的加載或去載，或由于電源或設備故障，允許中斷試驗。然而，如果中斷次數超過規定的循環總次數的10%時，不管任何理由，試驗必須重新從頭開始進行。
3.1計時
從熱到冷或從冷到熱的總轉換時間不得超過1min。當壞情況負載溫度是處在表1規定的極值范圍之內時，可以轉移負載，但停留時間不得少于10min，負載應在15min內達到規定的溫度。
3.2檢驗
后一次循環完成之后，不放大或放大不超過3倍對樣品標志進行檢驗，放大20~50倍對外殼、引線或封口進行目檢(但當本試驗用于100%的篩選時至少應放大1.5倍進行檢驗)。
本項檢驗和任何補充規定的測量及檢驗，都應在后一次循環完成之后進行，或者在包括本試驗的某試驗組、步或分組完成時進行。
3.3失效判據
試驗后，任何規定的終點測量或檢驗不合格，外殼、引線或封口的缺陷或損壞跡象，或標志模糊，均應視為失效。試驗期間，由于夾具或操作不當造成標志的損壞，不應影響器件的接收。
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