MEMS器件冷熱沖擊試驗
作者：
網絡
編輯：
瑞凱儀器
來源：
網絡
發布日期： 2020.09.02
1、目的
本試驗的目的是確定MEMS器件在遭到溫度劇變時的抵抗能力，以及溫度劇變產生的作用。
2、設備
所用的冷熱沖擊試驗箱在加載負荷時，應能為工作區提供并控制規定的溫度。熱容量和液體流量必須能使工作區和負載滿足規定的試驗條件和計時要求。在試驗期間用指示儀或記錄儀顯示監視傳感器的讀數，來連續監視壞情況負載溫度。按驗證冷熱沖擊試驗箱工作特性的要求，驗證負載條件和配置下的壞情況負載溫度。用于條件B和C的過碳氟化合物應滿足表1的規定。
3、程序
樣品應放于冷熱沖擊試驗箱中的合適位置，使液體在樣品周圍的流動不應受到阻礙，然后根據表2的規定，使負載進行條件B或其他規定的試驗條件進行15次循環。在完成規定試驗總循環數期間，為了進行器件批的加載或去載，或由于電源或設備故障，允許中斷試驗。然而，對任何給定的試驗，若中斷次數超過規定循環總次數的10%時，試驗必須重新從頭開始。
3.1 計時
從熱到冷或從冷到熱的總轉換時間不得超過10s。 當壞情況負載溫度達到表2規定的極，值范圍內時，可以轉換負載。負載應在5min內達到規定的溫度，但停留時間不得少于2min。
3.2 檢驗
后一次循環完成之后，不放大或放大不超過3倍對樣品標志進行外觀檢驗，放大20~50倍對外殼、引線或封口進行目檢(當本試驗用于100% 的篩選時至少應放大1.5倍進行檢驗)。本項檢驗和任何補充規定的測量及檢驗，都應在后一次循環完成之后進行，如果某試驗組、步或分組包括本試驗，則在該試驗組、步或分組完成之后進行。
3.3失效判據
試驗后，任何規定的終點測量或檢驗不合格，外殼、引線或封口的缺陷或損壞跡象，或標志模糊，均應視為失效。試驗期間由于夾具或操作不當造成標志損壞，不應影響器件的接收。
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